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本中心成功開發灰階結構製程,可利用海德堡雷射直寫設備DWL2000,進行光阻灰階結構製作,若有興趣,可與本聯盟林順區博士聯絡
Mail: sclin@mail.nems.ntu.edu.tw 電話:0928202705
達運精密工業股份有限公司-蔡榮智經理來訪本聯盟及臺大奈米機電系統研究中心,洽談DWL2000灰階結構製作技術服務