新製程服務-灰階結構製程技術服務

本中心成功開發灰階結構製程,可利用海德堡雷射直寫設備DWL2000,進行光阻灰階結構製作,若有興趣,可與本聯盟林順區博士聯絡

Mail: sclin@mail.nems.ntu.edu.tw 電話:0928202705

利用AZP4620光阻旋塗50um進行35um之灰階半圓製作

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