關於聯盟

1.持有技術之應用性及符合企業需求程度

近年來產業界越來越多直接或是間接與物聯網有關的元件、微奈米系統元件、新興材料的開發等需求,但由於臺灣目前的中小企業對於微製程的技術及資源缺乏資金建立,這也導致大部分中小企業的廠商在產品開發時,陷入無重型設備、技術、資源可用的窘境,必須四處尋找資源進行產品的試作及開發;儘管較大的企業如台積電或聯電等企業,對於較貴重的儀器或是設備需求相對沒那麼高,但若要進行簡單的研發測試、首樣試作或少量生產恐怕不太可能在停下產線設備的狀況下去進行。因此本中心成立該技術研發聯盟提供除了廠商內部門對部門、廠商對廠商以外的第三個選擇方案,透過本中心的研究核心群,聚焦在目前企業界所需要的技術相關知識可以透過本中心配對合適的研究群去解決廠商所面臨的問題,也讓廠商可以降低研發的成本及產品開發的週期;另一方面本中心擁有完善的無塵室實驗室及貴重的半導體、微機電相關的製程設備技術及儀器,透過專任研究員的協助安排適合廠商的製程進行ODM (Original Design Manufacturer)及OEM (Original Equipment Manufacturer),若廠商想自派工程師前來使用操作,中心專任研究員也會協助廠商取得設備的操作的權限,對於須要自行開發元件、製程、產品、材料及檢測的企業界提供了更多的選擇。

目前產業界對於相關物聯網等前瞻元件的開發有兩大需求

*技術元件相關的基礎、理論及開發知識

*製作的製程技術能力及檢測

(1)研究核心群合作開發相關技術元件

如前一章節所說,本中心欲成立之聯盟擁有光學、生醫、電子、機械、結構、能源等研究群技術,可以針對微節能技術、生醫微檢測、共振致動技術、生醫微晶片、超穎材料及能源汲取裝置進行開發,也可各別廠商的需求進行媒合配對,讓廠商可以針對自己在元件產品開發上所遇到的瓶頸或是困難,透過專業的核心研究團隊解決,廠商缺少深度且廣泛的探討研發能力,而研究群中有專業的人才提供協助及開發,透過雙方的專案交流,可以迅速的針對上述等技術開創更多的新興前瞻元件,架構如下圖所示。

協助聯盟開發元件架構圖

(2)設備、製程、檢測及相關參數等技術設備支援

在中心成立營運的20年中,有不斷的企業界廠商向中心提出技術服務的及合作,在加上中心這些年來累積了很多的技術能量,如下圖已累積非常多的技術報告;中心的微影製程能力搭配DWL2000的光罩製作,最小的光阻微型線寬可以達到1微米在光阻高度2微米的條件下,在厚膜光阻方面,本中心擁有100微米以上的厚膜光阻製作能力,可製作的微型線寬深寬比可達5:1(光阻厚度100微米、線寬20微米),另外還有各種光阻的測試能力,包含照光度、轉速厚度測試、曝光參數測試以及圖形解析度製作等等,都可以盡力滿足企業界的需求。

蝕刻製程上,本中心分成乾式的重型貴重儀器製程以及化學藥品實驗的溼式蝕刻製程。在乾式蝕刻上本中心擁有四台的反應式離子蝕刻機可以針對不同的材料或需求進行蝕刻,可蝕刻的材料包含矽、氧化矽、氮化矽、金屬、膠材等材料,本中心近期才剛與工研院電光所進行膠材的蝕刻測試合作。而在深度蝕刻或是特殊蝕刻的應用上,中心擁有兩台電漿耦合離子蝕刻機ICP-RIE(Inductively Coupled Plasma – Reactive Ion Etching),可以分開針對分別對矽、三五族及金屬進行蝕刻,其中在矽的蝕刻可達極高的深寬度;另一方面在溼式蝕刻上,中心擁有多座的酸、鹼及有機的化學實驗櫃,可以進行各項高濃度的化學溼式蝕刻,由其部分企業界的研發單位,在經過標準的CIC下線製程後的元件,有後續在製作溼式蝕刻的需求,此時通常就會選擇本中心來進行該實驗。

在薄膜沉積製程上,本中心擁有五套物理氣相沉積PVD(Physical vapor deposition)其中三台是電子束蒸鍍機,兩台射頻濺鍍機可以進行金屬沉積(如:Al、Cu、Zn、Ti、Cr、Au、Pt、Ag等金屬),也可以針對氧化物或特殊靶材(如:SiO2、ITO、TiO2、AlN等)。另外中心也有兩台化學氣相沉積CVD (Chemical Vapor Deposition)沉積設備,一台是專門沉積保護層的聚對二甲苯(Parylene),可以沉積0.3微米到20微米的保護膜可以用來保護或是絕緣;此外本中心也有電漿輔助化學氣相沉積(PECVD)來針對結構上沉積氮化矽或是氧化矽的材料。 最後中心擁有多台的量測設備及相關輔助設備,目前企業界有許多廠商在元件或是產品製作完成後,需要進行檢測驗證,因此需要透過如3D表面輪廓儀、掃描式電子顯微鏡或是雷射共軛焦顯微鏡進行表面結構的分析及量測,而這些量測技術都是由中心身經百戰的博士研究員們建立起來,此外在薄膜量測上中心擁有橢偏儀可以進行量測,且已建立多樣的材料庫可以進行量測;最後本中心尚有元素分析儀及半導體分析儀,可以針對後續元件材料的元素分部及特性進行分析檢測。

中心提供的技術參數及資源

2.對聯盟會員之服務或輔導規劃

本中心提供給了聯盟會員一個技術開發及服務的平台,在本計畫中預計提供給企業界的架構圖如圖21所示,中心提供給法人及企業界雙重的技術開發服務,聯盟會員以中心為轉軸,藉由中心本身的技術以及背後的核心研究群給予聯盟會員多方面的服務,本計畫中,將提供聯盟會員的服務與輔導規劃如下:

(1)  前瞻元件開發服務:

  • 本中心協助聯盟會員針對新型元件進行開發及測試或媒合適合的技術核心群團隊;在由中心及專業教授群的研究團隊協助聯盟會員針對新型元件進行開發及測試。
  • 由中心協助或是執行聯盟會員所需求的元件進行首樣製作及少量生產的服務。

(2)  相關設備支援服務

  • 提供聯盟會員完整的微奈米製程實驗室使用空間及實驗室架構經驗,並從中輔導解決製程中所遇到之技術問題。
  • 建立完整的儀器設備訓練制度,訓練聯盟會員所派出的工程師或是技術員,提供微奈米製程設備,讓聯盟成員自行進行元件技術開發。

(3)  製程技術提升服務

  • 提供微奈米顯影、氣相沉積、乾濕式表面蝕刻製程技術及元件檢驗及量測技術,協助聯盟會員研究開發新產品,提升製造及檢測等相關技術,以降低產品成本及提升競爭力。
  • 服務聯盟成員進行製程參數測試、OEM、ODM及檢測等服務。

(4)  人力資源輔導

  • 提供聯盟會員訓練在職員工的管道。除了中心既有之人才培訓課程及奈微米製程技術課程之外,亦藉由研究團隊的力量,根據聯盟會員的需求,客製化培訓課程內容,藉此提升聯盟會員的研發能力及競爭力。
  • 以中心所訓練的研究人才建立一人才庫,提供聯盟會員優秀且第一手的人才資源,促進科技研究人才流通率,使研究人才適得其所,聯盟會員亦可收得提升研發能力及競爭力之效。

(5)  產品認證輔導

  • 針對聯盟會員開發之產品及技術進行檢驗量測,並給予專業的評測報告及產品認證。
  • 對於具有創新性的產品,中心將輔導廠商申請專利,協助其產品順利打入市場。
  • 取得經濟部工業局核可,成為奈米標章檢驗實驗室,並輔導聯盟會員之產品取得奈米標

(6)  活動推廣輔導

  • 辦理並參與各式活動,如專業相關之研討會及論壇,並提供聯盟會員展示產品及技術之平臺,針對優秀的產品及技術積極進行推廣及媒合,同時獲得擴大聯盟會員數量的機會,進而提升推廣及媒合效率,最後提升聯盟規模層級。
  • 提供聯盟會員一個資訊快速的產學合作技術交流平臺,積極輔導產業轉型,以及幫助聯盟會員尋找合適的技術交流合作對象,以注入不同領域的研發能量。